Fabricación de películas delgadas de TiO2 utilizando el método Doctor Blade y Spin Coating

Carlos E. Díaz Uribe

Resumen


Los recubrimientos de TiO2 son uno de los materiales más investigados a nivel mundial debido a sus diversas aplicaciones. En este trabajo se fabricaron y caracterizaron películas de TiO2 utilizando el método de Doctor Blade y el método Spin Coating. Los recubrimientos fueron caracterizados por Difracción de Rayos X (XRD) y Microscopia de Fuerza Atómica. La caracterización estructural mostró que la fase cristalina de crecimiento fue la misma para los dos métodos; sin embargo la las muestras obtenidas por Doctor Blade presentaron mayor cirstanilidad que las obtenidas por el método Spin Coating, adicionalmente las películas obtenidas por Spin Coating presentaron mayor rugosidad que las películas obtenidas por Doctor Blade.


Palabras clave


TiO2, película delgada, Doctor Blade, Spin Coating.

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DOI: http://dx.doi.org/10.15765/e.v5i5.611

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